Instrument de contrôle d'épaisseur de membrane
Caractéristiques techniques:
1. Opération d'écran tactile complet, simple et facile à utiliser;
2.32Lignées membranaires, par lignée membranaire50 / 100Revêtement automatique de couche;
3.12Entrée de signal routier/ 12Sortie de quantité de commutation de route;
4. Fournit entièrement automatique, semi - automatique, mode de contrôle manuel;
5.Contrôlable2Une source, un ensemble de travail et un autre ensemble de pré - dissolution;
Paramètres techniques
|
Contrôleur CY - FDC - S |
Fréquence de vibration cristalline |
6mhz (2.5m 3M 5m 9m cristal en option) |
Mode d'affichage |
5 "écran tactile couleur + tube numérique taux d'affichage et épaisseur réelle |
Mode de fonctionnement |
Écran tactile |
Épaisseur finale |
00 μ0000 Å - 99 μ9999 Å |
Résolution d'affichage d'épaisseur |
1Å/s |
Résolution d'affichage du taux |
0.1Å/s |
Nombre de couches de revêtement |
32 lignées membranaires de 50 / 100 couches chacune; |
Nombre de sondes |
A B |
Facteur d'outil |
0,01 - 99,99 |
Affichage du temps |
00:00:00-23:59:59 H:M:S |
Affichage de puissance |
0 à 99,9% |
Puissance préformée |
0 à 99% |
Puissance pré - plaquée |
0 à 99,9% |
Temps de pré - fusion / temps de pré - placage |
0~99:99 m:s |
Temps d'isolation pré - fondu / temps d'isolation pré - plaqué |
0~99:99 m:s |
Taux de revêtement (taux de réglage) |
0 à 999,9 Å / s |
Stockage des matériaux |
257 + personnaliser 10 types |
Communication |
RS232/RS485 |
Source de vapeur contrôlable |
2, peut travailler un ensemble et un autre ensemble pré - dissous |
Contrôle de sortie |
± 10v / 5V / 2.5V |
I / interface |
Entrée de signal 12 voies / sortie de quantité de commutation 12 voies |
Nombre de Creusets contrôlables |
1 à 16 |
Affichage de revêtement |
Courbe de taux / valeur numérique |
Nombre de tours de revêtement |
50 / 100 couches par ligne de membrane automatique |
Dimensions du châssis |
480×280×89 mm (châssis 2u 19 ") |
Fonctions spéciales:
1, Manuel, semi - automatique, automatique3Type de mode de revêtement pour répondre à de nombreuses configurations de machine de revêtement;
2, Arrêt manuel du revêtement: Arrêt manuel du revêtement pendant le processus de revêtement;
3. contrôle manuel: déterminer les exigences du processus de revêtement initial;
4Système de film interrompu: le revêtement automatique et semi - automatique détecte des problèmes ou des défauts, peut arrêter le revêtement et peut sauvegarder automatiquement l'état actuel, après la défaillance * *, peut continuer le revêtement à partir du système de film interrompu;
5Lorsque le revêtement automatique ou semi - automatique, tel que la défaillance de la vibration cristalline, peut choisir d'appuyer sur terminer le revêtement, le revêtement selon le temps de puissance actuel, la plaque de commutation continue (sonde Multi - plaque);
6Les deux sources sont préformées en même temps: le processus de début de revêtement actuel, peut être sélectionné en même temps pour2La couche est préformée pour répondre aux occasions stressantes sur les exigences de temps;
7Protection par mot de passe: fonction de protection par mot de passe des paramètres du système de membrane et de la couche de membrane, pour protéger les paramètres du processus contre la modification par des personnes non techniques;
8Enregistrement des données de revêtement: lorsque le revêtement automatique ou semi - automatique, le système peut enregistrer le temps de formation du film de chaque couche *, le paramètre de vitesse d'épaisseur finale.